3인치 SGGG 에피 성장 기판은 광통신 산업에서 파라데이 로테이터 대량 생산의 주류 사양입니다. 직경 76.2mm, 표준 두께 630 ± 30μm, (111) 배향을 가지며, 자체 성장한 대형 SGGG 단결정을 사용합니다. 정밀 가공 및 EPI 등급의 초평활 연마로 Ra ≤ 1nm, 전위 밀도 ≤ 10cm⁻², TTV ≤ 6μm를 달성하여 BIG/Bi:YIG 자기 광학 박막의 배치 LPE 성장에 적합합니다.
이 제품은 에피 성장 장비 및 후속 다이싱 공정에서 정밀 정렬을 위한 주 평탄부 ([-110])와 보조 평탄부 ([-1-12])를 특징으로 합니다. 각 배치는 격자 상수, 배향, 표면 입자 수, 휨을 포함한 전체 매개변수 검사를 거쳐 높은 일관성을 보장합니다. 400G/800G 광학 모듈 아이솔레이터 및 서큘레이터용 파라데이 로테이터 대량 생산을 위한 비용 효율적인 선택입니다.
주요 기능
BIG/YIG 박막 LPE 에피 성장:
비트머스 철 가넷 박막과 정밀하게 일치하는 격자 상수, 에피 성장층의 균일성과 자기 광학 성능 보장
파라데이 로테이터 대량 생산 기판:
3인치는 현재 광통신 로테이터 생산의 주류 크기이며, 웨이퍼당 수십에서 수백 개의 로테이터 칩을 생산합니다.
3인치 SGGG 에피 성장 기판은 광통신 산업에서 파라데이 로테이터 대량 생산의 주류 사양입니다. 직경 76.2mm, 표준 두께 630 ± 30μm, (111) 배향을 가지며, 자체 성장한 대형 SGGG 단결정을 사용합니다. 정밀 가공 및 EPI 등급의 초평활 연마로 Ra ≤ 1nm, 전위 밀도 ≤ 10cm⁻², TTV ≤ 6μm를 달성하여 BIG/Bi:YIG 자기 광학 박막의 배치 LPE 성장에 적합합니다.
이 제품은 에피 성장 장비 및 후속 다이싱 공정에서 정밀 정렬을 위한 주 평탄부 ([-110])와 보조 평탄부 ([-1-12])를 특징으로 합니다. 각 배치는 격자 상수, 배향, 표면 입자 수, 휨을 포함한 전체 매개변수 검사를 거쳐 높은 일관성을 보장합니다. 400G/800G 광학 모듈 아이솔레이터 및 서큘레이터용 파라데이 로테이터 대량 생산을 위한 비용 효율적인 선택입니다.
주요 기능
BIG/YIG 박막 LPE 에피 성장:
비트머스 철 가넷 박막과 정밀하게 일치하는 격자 상수, 에피 성장층의 균일성과 자기 광학 성능 보장
파라데이 로테이터 대량 생산 기판:
3인치는 현재 광통신 로테이터 생산의 주류 크기이며, 웨이퍼당 수십에서 수백 개의 로테이터 칩을 생산합니다.