단결정 기질 물자는 수정같은 박막의 켜쌓기 자람을 위한 단결정 웨이퍼를 나타납니다. 그리고 기간 “켜쌓기”는 단결정의 표면에 다른 단결정의 다른 방향 성장을 특정 조건에서 나타납니다. 과학과 기술의 지속적인 발달, 특히 상승 및 광전자공학 공업의 발달으로, 박막의 성과 그리고 질은 점점 지나치게 요구하 되었습니다. 본래 기질 물자는 요구에 응하기에서 멀리 입니다, 그래서 각종 단결정 물자는 기질로 이용됩니다. 정시에, 그것의 기업의 가늠자는 확장하고 있습니다, 그리고 연구 분야는 끊임없이 확장하고 있습니다. Monocrystalline 실리콘 물자는 마이크로 전자 공학 장치를 가진 그들의 겸용성 때문에 많은 박막을 위한 선호한 기질 물자입니다. 몇몇은의 각종 기질에 성장된 동일한 박막 최대 성과 또는 경제적인 이득을 얻을 수 있습니다. 예를 들면, GaN 박막 기질은 SiC의 알루미늄을 포함합니다2O3, ZnO, Si 및 LiAiO2. Monocrystalline 기질 물자는 광전자공학 공업의 기초입니다.

기질 물자로, 단결정에는 뒤에 오는 기본적인 특성이 있습니다: 크 크기 단결정에 안정되어 있는 육체 및 화학 재산, 쉬운 접근, 높은 열 전도도, 작은 열 확장 계수, 좋은 열저항 및 좋은 processability.

단결정 기질의 유형

• SiNx

  SiNx 박막에는 높은 경도가, 내식성, 고열 저항, 좋은 열 전도도 및 절연제 및 우수한 광전자적인 성과가 있습니다. 그러므로, SiNx 박막은 마이크로 전자공학과 계속 마이크로 기계적인 체계의 분야에서 널리 이용됩니다.

• GaAs

  비화 갈륨 (GaAs)는 더 높은 온도 및 더 중대한 방향 전압에 작동할 수 있는 III-V 화합물 반도체 물자입니다. 높 힘 장치의 제조를 위한 선호한 물자입니다. 그것의 전자 기동성은 6배 Si의 그것이고, 그것의 동작 주파수는 높습니다. 고속 직접 회로 및 고속 전자 장치 제조를 위한 이상적인 물자입니다.

• 알루미늄2O3

  알루미늄0.32껌0.78사파이어 (주로 알루미늄에 켜쌓기 자람에 의해 성장되는 N/GaN 단 하나 결정 박막2O3) 금속 유기 화학 수증기 공술서 (MOCVD) 기술을 사용하여 기질은 고열, 고주파, 그리고 고성능 장치의 준비를 위한 선호한 물자입니다. 물자 체계는 인공위성, 레이다, 커뮤니케이션 및 다른 분야에 있는 중대한 신청 가능성으로 가지고있ㅂ니다.

• SrTiO3

  스트론튬 티탄 (SrTiO3) 높은 절연성 불변의 것, 낮은 유전 손실 및 좋은 열 안정성의 이점이 있는 널리 이용되는 전자 기능적인 도재에는 입니다. 그리고 그것은 전자의, 기계와 세라믹 기업에서 널리 이용됩니다. 동시에, 기능적인 물자로, 스트론튬 티탄에는 우수한 photocatalytic 활동이 있고, 유일한 전자기 재산 및 산화 환원 촉매 활동이 있습니다. 스트론튬 티탄은 또한 물의 photocatalytic 분해에서 널리 이용됩니다 유기 오염물질의 수소, photocatalytic 강직 및 계속 광화학적인 건전지를 생성하기 위하여. 더하여, 그것은 합성 에메랄드 유형 원석으로 수시로 잘리고 아주 좋은 다이아몬드 대용품입니다.

신청

• 찬빛 물질: 그들의 에너지 절약 및 환경에 친절한 특성 때문에 반도체 발광 다이오드 (LEDs) 생성 공정한 판단, 그들은 금세기에 있는 가장 귀중한 새로운 광원이 되고. Monocrystalline 기질 물자는 LEDs에 있는 핵심 역활을 합니다. 현재, 통용되는 기질은 SiC의 알루미늄입니다2O3 그리고 Si. SiC 단결정의 융해점은 2700°C에 관하여 아주 높습니다, 그래서 그것의 화학 재산은 상대적으로 안정되어 있습니다. SiC 기질 물자는 6H 유형과 생산 관리를 더욱 어렵게 하는 4H 유형에서 유효합니다. 1991년까지, 6H SiC 유형은 제품화되는 것을 시작되고, 4H SiC의 상품화는 1994년에서 시작했습니다. SiC 기질 물자는 1996년에 LED의 출생을 위한 기초를 닦아놓았습니다.

• Superconducting 물자: Superconducting 물자는 매우 매끄러운 지상 단결정 기질에 일반적으로 준비됩니다. 소위 매우 매끄러운 표면은 1 이하 nm의 소밀을 가진 표면입니다. 그것은 지상 손상이 또는 찰상 및 지하 손상 특징입니다. 이 매우 매끄러운 지상 단결정 기질 가공은 초전도성 거대한 자기 저항, ferroelectric 박막과 같은 많은 분야로 점차적으로 등등 침투하고 있습니다. LaAlO의 즉 입방 구조3 정상적인 온도에 0.379 nm의 격자 불변의 것을 가진 전형적인 최고 매끄러운 지상 단결정 기질은 입니다. LaAlO3 고열 superconducting 물자 YBCO를 위한 기질로 자주 사용합니다.